




特種氣體系統(tǒng)工程施工的一般性要求
特種氣體系統(tǒng)使用的不銹鋼管應(yīng)采用全自動(dòng)軌道焊機(jī)焊接,高純氬氣保護(hù)。安裝和試驗(yàn)檢測(cè)用計(jì)量器具應(yīng)檢定合格并在有效期內(nèi)使用。特種氣體系統(tǒng)工程施工前必須編制專項(xiàng)施工方案,并經(jīng)過(guò)業(yè)主審批后實(shí)施。主要設(shè)備材料進(jìn)場(chǎng)應(yīng)提供必要資料:產(chǎn)品合格證、質(zhì)量保證書(shū)、性能測(cè)試報(bào)告;產(chǎn)品安裝、使用、維護(hù)和試驗(yàn)要求等技術(shù)文件;產(chǎn)品規(guī)格、型號(hào)、數(shù)量、設(shè)備附件及專用工具。

特種氣體系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與施工
特氣供氣系統(tǒng)
大規(guī)模供氣系統(tǒng)主要針對(duì)大規(guī)模量產(chǎn)的8-12英寸(1英寸=25.4毫米)超大規(guī)模集成電路廠(氣體種類包括SiH4、N2O、2、 C2F6、 NH3等),100MW以上的太陽(yáng)能電池生產(chǎn)線(氣體種類包括NH3),發(fā)光二極管的磊晶工序線(氣體種類包括NH3)、5代以上液晶顯示器工廠(氣體種類包括SIH4、CL2、NH3、NF3)等、光纖(氣體種類包括SiCl4)、硅材料外延生產(chǎn)線(氣體種類包括HCL)等行業(yè)。它們的投資規(guī)模巨大,重慶特種氣體,采用1先進(jìn)的工藝制程設(shè)備,工業(yè)特種氣體供應(yīng)商,用氣需求量大,哪里可以買到特種氣體,對(duì)穩(wěn)定和不間斷供應(yīng)、純度控制和安全生產(chǎn)提出嚴(yán)格的要求。


特種氣體系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與施工
輔助系統(tǒng)的設(shè)計(jì)
氣體房和氣柜還須有自動(dòng)噴淋系統(tǒng),但有的氣體如三氟化氯,硅1烷遇水反應(yīng),這時(shí)就還需要考慮采用二氧化碳滅火系統(tǒng)。
排風(fēng)系統(tǒng)和放空系統(tǒng)也是特氣系統(tǒng)的重要組成部分。其排風(fēng)系統(tǒng)也根據(jù)危險(xiǎn)品性質(zhì)分成普通排風(fēng)系統(tǒng)(GEX)、酸性排風(fēng)系統(tǒng)(SEX)、溶劑排風(fēng)系統(tǒng)(VEX)、氨氣排風(fēng)系統(tǒng)(AEX)。普通排風(fēng)系統(tǒng)采用鍍鋅鐵皮風(fēng)管,酸性排風(fēng)一般采用玻璃鋼風(fēng)管,溶劑和氨氣排風(fēng)一般采用不銹鋼風(fēng)管。氣柜的排風(fēng)也是根據(jù)其性質(zhì)接入上面不同的排風(fēng)系統(tǒng)。


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